电子级高纯冰醋酸 (CH₃COOH)
超高纯度电子级冰醋酸，用于半导体蚀刻液、EBR及光刻工艺
产品描述
醋酸（CH₃COOH），又称乙酸，其无水形态（通常指含量≥99.5%）即为冰醋酸 (Glacial Acetic Acid, GAA)，是电子工业中重要的有机酸和溶剂。圣天迈电子科技有限公司专注于供应符合 SEMI 标准的超高纯电子级冰醋酸（例如 EL Grade, 对应 SEMI G1/G2 等级，典型含量 Assay ≥99.8%），确保为客户提供高纯度、低杂质的稳定产品。
我们的电子级冰醋酸通过先进的精馏提纯工艺和严格的质量控制体系生产，有效控制金属离子 (如Fe, Na, K等至ppb级)、氯离子、硫酸盐、水分以及还原性物质（如乙醛、甲酸）的含量。它是半导体制造中铝蚀刻液 (PAN etch: 磷酸-硝酸-醋酸) 的关键组分之一，用于调节蚀刻速率、改善蚀刻选择性和蚀刻后铝表面的光洁度。此外，电子级冰醋酸也是边缘珠去除剂 (EBR, Edge Bead Remover) 的常用溶剂或组分，有效去除晶圆边缘涂覆光刻胶过程中产生的边缘厚胶珠。在某些特定的光刻和清洗工艺中，它还可用作pH缓冲剂、溶剂或清洗液的添加剂，以提高工艺效率和器件性能。
圣天迈致力于为电子行业客户提供高品质的电子级冰醋酸，满足精密制造对化学品纯度和一致性的严苛标准。如需详细规格、安全数据或报价，请联系我们。
主要应用
- 半导体与集成电路 (IC) 制造: - 铝 (Al) 及铝合金湿法蚀刻液 (PAN etch) 的核心组分 - 边缘珠去除剂 (EBR) 的主要溶剂或组分，用于去除晶圆边缘光刻胶 - 光刻工艺中的pH缓冲剂或特定显影液/定影液组分 - 特定有机残留物的清洗或剥离工艺
- 显示面板 (FPD - LCD/LED/OLED) 制造: - 金属电极 (如铝、钼) 蚀刻液的组分，用于调节蚀刻特性 - 玻璃基板或ITO膜清洗过程中的添加剂 - 偏光片生产过程中的溶剂或辅助化学品
- 印刷电路板 (PCB) 与FPC制造: - 清洗液组分，用于去除有机污染物或助焊剂残留 - 某些金属表面处理或蚀刻工艺的辅助添加剂
- LED与光电器件制造: - 芯片制造过程中特定蚀刻液的组分 - 器件清洗或表面处理步骤中的pH调节
- 太阳能光伏产业: - 硅片清洗或蚀刻工艺中的添加剂，用于去除有机物或调节表面状态
- 精密电子元件与传感器制造: - 金属或非金属部件的精密清洗 - 特定传感器制造过程中的蚀刻或表面处理
- 高纯电子化学品配制: - 作为配制其他专用蚀刻液、清洗液或光刻辅助材料的原料
规格参数 (电子级示例)
- 化学名称: 醋酸 / 乙酸
- 别名: 冰醋酸 (Glacial Acetic Acid)
- 化学式: CH₃COOH
- CAS 编号: 64-19-7
- 产品等级: 电子级 (EL Grade / SEMI G1, G2 等)
- 外观: 无色透明液体，有刺激性酸味 (低温时为无色结晶固体)
- 含量 (CH₃COOH Assay, w/w): ≥ 99.8%
- 水分 (Water, H₂O): ≤ 0.1% (根据具体等级，可更低)
- 蒸发残留物: ≤ 5 ppm (根据具体等级)
- 氯化物 (Cl⁻): ≤ 0.2 ppm (根据具体等级)
- 铁 (Fe): ≤ 0.05 ppm (50 ppb) (根据具体等级)
- 颗粒度 (Particles ≥0.2µm): ≤ 25 counts/mL (根据具体等级)
- 包装规格: 专用高纯HDPE桶 (25L, 200L), IBC吨桶, ISO Tank