电子级高纯盐酸 (HCl)
圣天迈电子级盐酸,专用于半导体蚀刻、金属清洗、PCB制造等精密电子工业领域。

产品描述
盐酸 (HCl),又称氢氯酸,是氯化氢气体的水溶液,是一种强腐蚀性一元无机酸。圣天迈电子专注于供应符合SEMI标准的超高纯电子级盐酸 (例如EL, UP, Giga级, 对应SEMI C1, C7, C8等标准),典型浓度范围为30%-38%。
我们的电子级盐酸通过先进的纯化和精密过滤工艺生产,严格控制金属离子 (ppb级或更低)、游离氯、硫酸根、磷酸根及颗粒物含量。其高纯度特性使其成为半导体制造中硅片清洗 (如SC-2清洗液的关键组分)、金属层 (如铝、铬) 湿法蚀刻、外延生长过程中的气体蚀刻以及设备清洁等关键工序的理想选择。在PCB和FPC制造中,它用于铜面清洁、微蚀刻和化学镀前处理。此外,电子级盐酸还在太阳能电池片制造、LCD/LED等显示面板制造以及其他精密电子元器件的表面处理中发挥重要作用,是确保最终产品性能和可靠性的关键化学品。
我们致力于提供质量稳定、供应可靠的电子级盐酸,并可根据客户具体需求提供定制化的规格和包装。如需详细规格或报价,请联系我们。
主要应用
- 半导体与集成电路 (IC) 制造: - 晶圆清洗:SC-2 (HPM) 清洗液的关键组分,用于去除碱金属和过渡金属离子 - 湿法蚀刻:铝 (Al)、铬 (Cr) 等金属薄膜的蚀刻 - 气体蚀刻:硅外延生长前的原位气体蚀刻 - CVD/PVD设备腔室清洗
- 印刷电路板 (PCB) 与FPC制造: - 铜表面清洁与活化,去除氧化物 - 微蚀刻前处理 - 化学镀 (如化学镍金) 前的酸性浸泡
- 显示面板 (FPD - LCD/LED/OLED) 制造: - 玻璃基板清洗与预处理 - 金属电极 (如ITO的辅助蚀刻) 或薄膜层蚀刻
- 太阳能光伏产业: - 硅片清洗,去除表面污染物和金属杂质 - 制绒工艺后的清洗
- LED与光电器件制造: - 外延片生长前的基板清洗 - 芯片制造过程中的特定蚀刻或清洁步骤
- 精密金属表面处理: - 精密电子元器件的金属部件清洁与除锈 - 电镀前处理,提高镀层附着力
- 高纯化学品合成与配制: - 作为合成其他高纯电子化学品 (如氯化物) 的原料 - 配制特定用途的蚀刻液或清洗液
规格参数
- 化学名称: 盐酸 / 氢氯酸
- 化学式: HCl
- CAS 编号: 7647-01-0
- 外观: 无色或微黄色透明发烟液体
- 产品等级: 电子级 (EL, UP, Giga / SEMI C1, C7, C8 等)
- 浓度 (HCl w/w): 30.0% - 38.0% (根据客户需求和SEMI等级定制)
- 游离氯 (Free Cl₂): ≤ 0.5 ppm (根据具体等级)
- 总磷 (Total P): ≤ 0.1 ppm (根据具体等级)
- 总硫 (Total S as SO₄): ≤ 0.5 ppm (根据具体等级)
- 铁 (Fe): ≤ 5 ppb (根据具体等级)
- 铝 (Al): ≤ 3 ppb (根据具体等级)
- 颗粒度 (Particles ≥0.2µm): ≤ 25 counts/mL (根据具体等级)
- 包装规格: 专用高纯容器 (HDPE, PFA内衬等, 25L, 200L), IBC吨桶, ISO Tank