电子级高纯硝酸 (HNO₃)
超高纯度电子级硝酸,专用于半导体蚀刻、金属清洗及钝化处理

产品描述
硝酸(HNO₃)是一种具有强氧化性的重要无机酸,在电子工业中扮演着关键角色。圣天迈电子科技有限公司专注于提供符合 SEMI 标准的超高纯电子级硝酸(例如 EL Grade, 对应 SEMI G1/G2 等级,常用浓度 68-70%)。
我们的电子级硝酸经过严格纯化和过滤,有效控制金属离子(如 Fe, Cu, Ni)至 ppb 级别,并显著降低氯离子、硫酸根和颗粒物含量。其高纯度和稳定的氧化性能使其成为多种金属(如 Cu, Ag, Ni, Mo)湿法蚀刻工艺的理想选择,常与其他酸复配使用以达到精确的蚀刻速率和选择性。此外,它还用于电子级金属材料表面的清洗和钝化(例如不锈钢部件的预处理),以及硅片清洗的特定步骤(如去除金属污染物或有机残留),对于保证器件性能和工艺可靠性至关重要。
圣天迈致力于为电子行业客户提供质量稳定、性能卓越的电子级硝酸,以满足精密制造中对化学品纯度与一致性的严苛要求。如需详细规格或报价,请联系我们。
主要应用
- 半导体与集成电路 (IC) 制造: - 金属层湿法蚀刻:铜 (Cu)、银 (Ag)、镍 (Ni)、钼 (Mo) 等金属及其合金的蚀刻 - 硅片清洗:特定工艺步骤中用于去除金属污染物或有机残留 - 设备部件清洗与钝化:石英管、腔室部件等的清洗与预处理
- 印刷电路板 (PCB) 与FPC制造: - 铜面蚀刻:内层/外层线路图形化,或用于去除多余铜层 - 金属化孔后处理与清洁 - 表面清洁与活化,用于后续涂覆或电镀工艺
- 显示面板 (FPD - LCD/LED/OLED) 制造: - 金属电极蚀刻:铝 (Al)、钼 (Mo) 等电极材料的图形化 - 玻璃基板清洗与预处理 - ITO或其他透明导电膜的蚀刻辅助
- 太阳能光伏产业: - 硅片蚀刻与制绒辅助,用于表面结构化 - 硅片清洗,去除金属杂质和表面污染物 - 电极制作过程中的金属层蚀刻
- LED与光电器件制造: - 金属电极或导电层蚀刻 - 芯片制造过程中的清洗或表面处理
- 精密电子元件表面处理: - 精密金属部件 (如不锈钢、特种合金) 的钝化处理,提高耐腐蚀性 - 清洁电子元件表面的有机或无机残留物
- 高纯电子化学品配制: - 作为配制特定用途蚀刻液 (如金属蚀刻液、BOE缓冲氧化物蚀刻液的pH调节) 或清洗液的组分
规格参数
- 化学名称: 硝酸
- 化学式: HNO₃
- CAS 编号: 7697-37-2
- 产品等级: 电子级 (EL Grade / SEMI G1, G2 等)
- 外观: 无色至微黄色透明发烟液体
- 浓度 (HNO₃ Assay, w/w): 68.0% - 70.0% (可按需定制)
- 蒸发残留物: ≤ 2 ppm (根据具体等级,例如SEMI G2)
- 氯化物 (Cl⁻): ≤ 0.1 ppm (根据具体等级,例如SEMI G2)
- 硫酸盐 (SO₄²⁻): ≤ 0.2 ppm (根据具体等级,例如SEMI G2)
- 磷酸盐 (PO₄³⁻): ≤ 0.1 ppm (根据具体等级)
- 铁 (Fe): ≤ 0.05 ppm (50 ppb) (根据具体等级,例如SEMI G2)
- 铝 (Al): ≤ 0.05 ppm (50 ppb) (根据具体等级)
- 铜 (Cu): ≤ 0.01 ppm (10 ppb) (根据具体等级)
- 颗粒度 (Particles ≥0.2µm): ≤ 25 counts/mL (根据具体等级)
- 包装规格: 专用高纯HDPE/PTFE内衬桶 (25L, 200L), IBC吨桶, ISO Tank